Ngawelah Silicon Carbide Cantilevers
Produk lengkep sareng aplikasi
Gaya wafer ageung loading silikon karbida SiSiC / SiC cantilever ngawelah / balok cocog pikeun sistem loading otomatis sareng sistem penanganan sabab ngagaduhan performa anu stabil, non-deformasi dina suhu luhur sareng kakuatan muat wafer anu ageung. Kusabab bagéan dayung cantilever stabil sareng teu aya deformasi, dimungkinkeun pikeun ngadamel wafer ukuran langkung ageung nganggo tabung tungku anu aya. Gaya muat wafer ageung silikon karbida SiSiC / SiC cantilever ngawelah / balok tiasa dilarapkeun ka LPVCD dumasarkeun koefisien ékspansi termal anu sami sareng lapisan LPVCD, anu seueur manjangan siklus pangropéa sareng beberesih, sareng nyata ngirangan polutan.
Parameter téknis réaksi kabeungkeut silikon karbida RBSIC:
| barang | hijian | data |
| Suhu aplikasi | ℃ | 1380 |
| kapadetan | G / cm3 | > = 3.02 |
| Porositas kabuka | % | <0,1 |
| Skala Kakuis Moh | 13 | |
| Kakuatan bending | Mpa | 250 (20 ℃) |
| Mpa | 280 (1200 ℃) | |
| Modulus élastisitas | Gpa | 330 (20 ℃) |
| Gpa | 300 (1200 ℃) | |
| Konduktivitas termal | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| Koefisien ékspansi termal | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| Alkali asam-buktina | Alus teuing |
Fitur:
a. Éta henteu cacad dina suhu luhur sareng kakuatan muat wafer ageung;
b. Résistansi shock termal anu hadé sareng umur jasa anu panjang;
c. Koefisien ékspansi termal tina ngawelah cantilever leutik pisan, anu ageung manjangkeun pangropéa sareng siklus pembersih;
sareng nyirorot nyirorot polutan
Perabotan tungku sanés anu didamel ku silikon karbida karamik
Di sagigireun Réaksi sintered silikon karbida SiSiC ngawelah kantil pikeun loading wafer, kami ogé ngahasilkeun parabot tungku sanés kalebet RBSIC / SISIC silikon karbida karbida, tabung nozel, tabung nozel spiral, tabung nozel puteran, batasi sicida karbida sIC karbida / pelat setter sareng pipa pendinginan RBSIC .
Ngagem produk tahan karbohidrat silikon RBSIC / SISIC
Kusabab produk karbohidrat silikon RBSIC / SISIC urang ngagaduhan kaunggulan résistansi maké anu hadé, résistansi korosi sareng umur jasa anu panjang, éta ogé tiasa dijantenkeun bahan pelapis tahan kaén anu tiasa gampang dipasang dina ngolah pipa atanapi siklon.
